真空泵真正工作時負壓在0.01-0.099MPa之間，將兩個真空泵連起來并聯能提供更高的抽真空能力，但是負壓值還是無法再進行提高，串聯效果好點，但是串聯不如換一臺正控系統好的正空泵，串聯不論其中有哪一臺真空系統不能保證，都無法達到理想真空度。極限值就是0.09999兆帕。

極限真空度由真空泵的密封性有關，你用再多的相同的泵作用不會太大，要提高極限真空度，應該將真空泵型號更改，例如循環水的可以換成油泵。

旋片式真空泵一般標注的極限真空度為0.02帕，但用單泵的話在實際工作證很難達到，畢竟但泵的抽氣量有限，特別是在高真空條件下，但泵的抽氣量極小，因此很難達到極高的真空，工業上一般采用多級泵串聯的方式得到較好的真空度，羅茨泵就是僅能在高真空條件下才能運行，并且具有在高真空條件下具有良好的抽氣能力，兩級羅茨泵再加一級旋片真空泵作為前級泵即可滿足要求，操作時要求先啟動旋片式真空泵，待真空度達到-0.08兆帕后再啟動羅茲泵.