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旋片真空泵如何工作?



氣體進入吸氣腔,并立即被轉子的葉片壓縮。當轉子旋轉時,它將氣體分子推向泵室,并朝向排氣,然后被排放到大氣中。

葉片是彈簧加載的,這就是葉片在轉子和泵室殼體之間形成氣密密封的方式。相反,這些葉片和轉子殼體由專門配制的低蒸氣壓的油密封,該油用作旋片真空泵的密封劑,潤滑劑和冷卻劑。

有幾種驅動旋片真空泵轉子的驅動器。**個是直接驅動器,直接驅動器通過曲軸和聯軸器連接到旋轉動力源(大多數情況下是電動機)。第二種驅動類型是皮帶驅動泵,它通過皮帶輪和皮帶連接到旋轉動力源。

直接驅動式旋片泵通常在大約1750 RPM的溫度和70攝氏度的溫度下運行。使用減速皮帶輪(皮帶驅動)的泵以較低的RPM運行。皮帶驅動泵的工作溫度比直接驅動真空泵低10至20攝氏度。但是,每種泵類型的工作溫度在很大程度上取決于多個因素,例如轉速,真空泵油的粘度,油的質量,真空泵的使用年限,被抽出的氣體的質量。 ,以及真空泵的質量和類型。

旋片式真空泵通常有兩種類型:單級或雙級,有時也稱為雙級。通過將第二轉子的進氣口連接到**轉子的排氣口來產生第二階段。兩級旋轉葉片泵的優點是可以通過這種方式獲得較低的真空度和較高的體積流量。

與任何其他真空泵一樣,體積流量隨著真空系統或腔室內部真空度的增加而減小。這是由于這樣的事實,真空室內存在的空氣越少,從真空室或系統中去除其他氣體分子的難度就越大。但是,隨著jue對壓力的降低,兩級真空泵的泵性能變得更加明顯。在粗真空范圍內,抽速基本上相同,但是當jue對壓力超過1托時,兩級真空泵繼續保持其抽速,而單級真空泵開始下降。

從該圖可以明顯看出為什么單級真空泵優于兩級真空泵,反之亦然。在惡劣的真空環境中,單級真空泵和兩級真空泵之間沒有區別,這意味著單級真空泵將以降低約30%至50%的成本提供相同的性能。另一方面,單級旋片真空泵的性能在1 Torr之后開始下降,而二級旋片真空泵成為顯而易見的選擇。

下圖顯示了帶有和不帶有氣鎮閥的單級和兩級旋轉葉片泵的抽速。

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