所用的物品：脫脂紗布（或無塵紙）、真空硅脂、廢油收集容器，、干凈無水的燒杯（或用干凈的紙

代替漏斗）、內六角螺絲刀、真空泵油    

１．按照操作規程關閉全部的電源。 

２．把儀器后面下側面板，左面下側面板拆下。 

３．真空泵的電源插頭拆開（P45：真空泵的電源、P5：停電放氣閥電源），注意插頭編號，把真

空管道連接的連接器打開（圖７）  ４．把真空泵從儀器中拿出來。 

５．把真空泵上方的集油器打開，把集油器里的廢油清理干凈，濾芯有新的可以更換（6個月）

清理后再裝好，注意濾芯的安裝方向。（圖８） 

６．把真空泵下方放好廢油收集容器，擰開真空泵下方的放油螺絲，把廢放出來，可以讓真空泵

傾斜，搖動、加少量的新油反復沖洗幾次，把泵內的油污洗干凈。（圖９） 

７．把真空泵上方加油的螺絲擰開，用干凈無水的燒杯（或用干凈的紙代替漏斗）把新的油   加到真空泵里，加到真空泵紅色油標靠上側（紅色油標的上2/3處較好）（圖１０）  ８．真空泵吸氣口的濾網的清掃，可以用分析純酒精泡濾網，去掉油污。（圖１１）  ９．真空泵外面粉塵認真清掃干凈，旋轉軸用吸塵器吸干凈。 １０．把真空泵放入MXF內原位置。 １１．把P45，P5插頭查好。 

１２．真空泵和真空管道連接用的O環要用脫脂紗布（或無塵紙）擦干凈，均勻涂真空硅脂，并把

和O環接觸的部分擦干凈，用真空管道連接的連接器固定真空泵和真空管道。